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    聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱

    聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱

    簡(jiǎn)要描述:

    聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱應用于精密電子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。

    聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱應用工藝


      聚酰亞胺膠的固化溫度大約為250-350,固化5小時(shí)左右。堅膜時(shí)間太長(cháng),光刻膠會(huì )流動(dòng),破壞圖形,堅膜時(shí)間太短,溶劑沒(méi)有蒸發(fā)完,膠與硅片的粘附性差,腐蝕時(shí)會(huì )出現脫膠,導致圓片報廢。

      聚酰亞胺(PI)是一種高溫環(huán)鏈高分子聚合物,它熱穩定性好,熱膨脹系數小,臺階覆蓋性、抗輻射性好,并且具有耐各種有機滾劑的優(yōu)良化學(xué)特性,絕緣性好,有負電效應,由學(xué)、微電子學(xué)性能優(yōu)良,因此常用作表面鐘化。PI具有感光性,使用方法就像光刻涂膠一樣,用涂膠機均勻地將聚酰亞胺液涂敷于待鐘化的硅片上,再在高溫下使之轉變?yōu)榫劭醽啺?,這一加溫處理過(guò)程稱(chēng)為亞胺化。亞胺化過(guò)程很有講究,如果亞胺化溫度低,則會(huì )有較多的聚醉胺酸未轉變?yōu)閬啺方Y構,降低了絕緣性能:,如果溫度升的太快,溶劑揮發(fā)過(guò)急,就容易產(chǎn)生氣泡,使薄膜粘附不牢。正性聚酰亞胺膠是紅色粘稠液態(tài)物質(zhì),經(jīng)過(guò)曝光顯影后變成金黃色或黃色。它一般采用手動(dòng)顯影,在常溫下的正膠顯影液浸泡50-60S,并且用N,鼓泡,然后用純水沖洗干凈甩干。聚酰亞胺光刻膠用等離子刻蝕去膠機去膠,在去膠機內通入0,刻蝕氣體。

      聚酰亞胺光刻返工:如果聚亞胺曝光顯影后未堅膜,發(fā)現異常需要返工的話(huà)可以將圓片鈍化層全部曝光后再顯影去除聚酰亞胺:如果聚酰亞胺堅膜固化后,顯影不能除去,需要放入等離子刻蝕去膠機中用0和CF,將固化的聚酰亞胺干法刻蝕去除。

    聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱指標

    工作室尺寸:  W500mm×D500mm×H550mm  ,可定制

    材質(zhì):  內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

    溫度范圍:  RT+50-400℃ 

    氧含量:  ≤20ppm  

    溫度分辨率:  0.1℃

    溫度波動(dòng)度:  ≤±1℃

    溫度均勻度:  ≤±1.5%℃

    操作方式: 人機界面,自動(dòng)運行,一鍵工藝

    潔凈度:  Class100 

    升溫速度: 1-8℃/min,階梯升溫模式

    降溫時(shí)間:  350℃降溫至80℃平均約4.0℃/min  

    操作方式:  人機界面+PLC,可程式/定制運行

    工藝選擇:5組工藝配方保存,每組15個(gè)工藝步驟

     樣品架: 多層不銹鋼沖孔樣品架,高度可調節,活動(dòng)網(wǎng)板

    氮氣亞胺化烘箱其他用途:


      應用于精密電子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).


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