<noscript id="kyq4q"><button id="kyq4q"></button></noscript><sup id="kyq4q"></sup>
  • <fieldset id="kyq4q"><rt id="kyq4q"></rt></fieldset><tfoot id="kyq4q"><center id="kyq4q"></center></tfoot>
    產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導體烘烤設備 > 氮氣/充氮烘箱 > 氮氣烘箱,掩膜板烘箱
    氮氣烘箱,掩膜板烘箱

    氮氣烘箱,掩膜板烘箱

    簡(jiǎn)要描述:

    氮氣烘箱,掩膜板烘箱在掩膜版的生產(chǎn)制造過(guò)程中,掩膜版基板在光阻涂布后會(huì )有一個(gè)烘烤的環(huán)節,又稱(chēng)為前烘。

    氮氣烘箱,掩膜板烘箱使用工藝

          在掩膜版的生產(chǎn)制造過(guò)程中,掩膜版基板在光阻涂布后會(huì )有一個(gè)烘烤的環(huán)節,又稱(chēng)為前烘。目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑,增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力,并使光阻起到固化的作用;同時(shí),涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘,目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應。


         掩膜版制作工藝,包括如下步驟:S1、涂膠:提供一光學(xué)高分子PC復合板材,在所述光學(xué)高分子PC復合板材表面旋涂抗反射中性密著(zhù)層,在所述抗反射中性密著(zhù)層上旋涂中性UV光刻膠;S2、光刻:通過(guò)光刻直寫(xiě)掩膜機對中性UV光刻膠進(jìn)行激光曝光;S3、顯影:將光刻后的光學(xué)高分子PC復合板材置于一顯影槽進(jìn)行浸泡顯影,所述顯影槽內設有顯影液;S4、堅膜。

    氮氣烘箱,掩膜板烘箱性能

    全周激光滿(mǎn)焊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;

    采用特殊風(fēng)道,水平送風(fēng),溫度均勻性佳;

    可定值運行,多段程序運行;

    設備采用雙腔室一體設計,獨立控制,節省空間;

    溫度范圍: RT+10~200、300/400℃;

    溫度均勻度:≤±1.5℃;

    潔凈度:class100/1000,適用潔凈間;

    設備尺寸:定制

    計時(shí)功能:0~ 99H99M可調,到溫計時(shí),計時(shí)完成蜂鳴并停止加熱;

    降溫方式:可選配

    保溫材料:超細陶瓷纖維;

    隔 板:1-10層,;

    溫度測量傳感器:高精度鉑電阻;






    COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號-1   

    上海雋思實(shí)驗儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的氮氣烘箱,掩膜板烘箱等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)氮氣烘箱,掩膜板烘箱詳細資料等信息
    地址:上海奉賢柘林工業(yè)區3213號
    给我播放片高清mv在线观看_成熟了的熟妇毛茸茸_综合久久国产九一剧情麻豆_美女裸体十八禁免费网站