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    HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的?

    更新時(shí)間:2023-11-10   點(diǎn)擊次數:468次

    HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來(lái)增黏的作用。

    HMDS中文名六甲基二硅氮烷,是一種有機物,在水中的溶解性很低,但它可與多種有機溶劑混溶,比如醇、醚和多數非極性溶劑。溶劑清洗:可以使用有機溶劑溶劑(如異丙醇)來(lái)清洗晶圓,以去除多余的HMDS。

    HMDS烘箱的作用

    HMDS烘箱也稱(chēng)為HMDS預處理系統,HMDS蒸鍍機等,是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結合,使這樣的襯底表面具有疏水性。

    HMDS烘箱性能

    溫度范圍:RT+10-250℃

    真空度:≤1torr

    控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡(jiǎn)單,方便

    HMDS工藝:蒸汽氣相涂布

    安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示

    儲液瓶:HMDS儲液瓶 

    真空泵:無(wú)油渦旋真空泵

    工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制

     

     

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